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16年專(zhuān)注全氟聚醚油脂,皮膜油, 氟化液,三防漆,抗咬合劑,硅脂
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當(dāng)前位置:首頁(yè) ? 行業(yè)新聞 ? 全氟脂如何推動(dòng)半導(dǎo)體技術(shù)革新
文章出處:嘉樂(lè)德 責(zé)任編輯:嘉樂(lè)德 閱讀量:- 發(fā)表時(shí)間:2025-03-22
半導(dǎo)體制造對(duì)潔凈度和精度的要求近乎苛刻,而全氟聚醚脂憑借其獨(dú)特的性能,成為光刻機(jī)、真空設(shè)備等核心部件的“隱形功臣”。
半導(dǎo)體制造的挑戰(zhàn)
納米級(jí)精度需求:塵埃或潤(rùn)滑劑揮發(fā)可能污染晶圓。
真空環(huán)境兼容性:傳統(tǒng)潤(rùn)滑劑易揮發(fā)導(dǎo)致設(shè)備故障。
PFPE在關(guān)鍵設(shè)備中的應(yīng)用
光刻機(jī):透鏡驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、真空機(jī)械臂的潤(rùn)滑。
刻蝕與沉積設(shè)備:耐等離子體腐蝕的密封材料。
真空泵:長(zhǎng)期運(yùn)行下的穩(wěn)定性保障。
技術(shù)突破案例
ASML EUV光刻機(jī):使用PFPE潤(rùn)滑脂實(shí)現(xiàn)0.33 NA鏡頭的精準(zhǔn)控制。
嘉樂(lè)德油邦手的定制化PFPE解決方案。
結(jié)論
PFPE潤(rùn)滑脂是半導(dǎo)體行業(yè)邁向更高制程節(jié)點(diǎn)的基石,其性能優(yōu)化直接關(guān)系到摩爾定律的延續(xù)。
14年專(zhuān)注高性能潤(rùn)滑脂 /全氟聚醚油脂/ 電子氟化液/干性皮膜油等的研發(fā)生產(chǎn)
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